高純氦氣充裝需要嚴格遵守高純氣體充裝工藝規程和安全操作規程。
    1、高純充氣操作人員工作時需要佩戴符合要求的防護用品。作業前應檢查灌裝設備、管路、閥門、儀器、儀表、工具是否齊全、完好、安全、靈敏、穩定。
    2、包各種氣瓶的安全狀態會發生變化，甚至是變化很大，因為它們所裝的工作介質不同，所承受的環境壓力也不同。為確保安全，必須嚴格按照規定的時間和內容，對在役的各類氣瓶進行定期的技術檢查和評定。每次加氣前，需確認高純氦氣瓶已通過檢驗。
    3、加強設備維護水平，無法定位“可用”設備水平。由于壓縮機質量和維護問題，該機組生產的壓縮空氣質量長期不達標。而一直滿足于燃氣壓力達標，而忽略了燃氣質量的合格性。油水分離器和干燥器長期未維護或更換，導致除水除油能力下降，加劇氣瓶腐蝕，存在日后事故隱患。
    4、加強人員培訓，組織技術骨干、有一定實踐經驗的老同志，總結經驗教訓，不斷積累好的工作方法，落實設備操作規程和安全制度，避免因人員技能薄弱造成設備損壞或損失，造成在嚴重事故中。
    5、操作閥門時，操作者需側立緩慢進行，一次開啟或一次關閉，但不能太緊，以免產生過多的摩擦熱或氣流沖擊靜電，引起可燃氣體或氣瓶燃燒、爆炸。如果用力過大，可能會損壞閥體螺紋。
    6、從高純氦氣充氣，觀察壓力變化。當壓力升至充裝壓力的1/3時，操作人員應測試瓶溫，并處理泄漏。如發現異常，應及時處理，使氣瓶正常充氣，直至充滿。在檢查過程中，如發現部分氣瓶沒有進氣口（觸摸氣瓶壁未加熱）或漏氣，應及時處理。無進氣時，檢查氣缸閥門是否打開；有漏氣時應處理漏氣，但當壓力超過10MPa或不便處理時，應在鋼瓶內充入高純氦氣后，關閉充氣閥和鋼瓶閥門，此外，還應注意監測瓶內是否有異響，檢查瓶閥是否密封良好。